瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

簡(jiǎn)要描述：瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
滿(mǎn)足超高真空要求

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瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

適用于最小氣流的高精度計(jì)量59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥可以精確控制極小的氣流（1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1）。該系列閥門(mén)采用全金屬設(shè)計(jì)，是滿(mǎn)足超高真空和超高真空工藝中氣體計(jì)量要求的理想選擇。

59.0 系列的特殊控制功能確?？芍貜?fù)的精確氣流設(shè)置，增強(qiáng)了過(guò)程控制能力。其還能在整個(gè)使用壽命內(nèi)提供可靠的密封關(guān)閉，不會(huì)出現(xiàn)任何密封疲勞風(fēng)險(xiǎn)。

此外，59.0 系列采用全金屬設(shè)計(jì)（高級(jí)不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘封），因此具有出色的抗腐蝕性和抗腐蝕性氣體特性。

59.0 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。其已成為超高真空和真空應(yīng)用中可變泄漏閥的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥提供 DN為16 mm (5/8") 的角閥或內(nèi)聯(lián)閥，帶手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，或帶配有步進(jìn)電機(jī)的集成式或可拆卸壓力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根據(jù)烘烤過(guò)程中的情況，可以在烘烤過(guò)程中取下驅(qū)動(dòng)器。標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 CF-R，固定到位。

隔膜采用“硬對(duì)硬"密封技術(shù)，閥門(mén)在整個(gè)使用壽命內(nèi)可進(jìn)行 40 萬(wàn)次控制循環(huán)和 1 萬(wàn)次密封關(guān)閉循環(huán)，無(wú)需任何維護(hù)，其可作為零部件使用，并且易于更換。

瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥主要特點(diǎn)

特點(diǎn)：

適用于最小氣流的高精度氣體計(jì)量
精確可重復(fù)的氣流設(shè)置
可靠的持續(xù)密封
耐腐蝕和腐蝕性氣體

優(yōu)勢(shì)：

在極小氣流下可實(shí)現(xiàn)最佳壓力控制
工藝可控性增強(qiáng)
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)
瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

技術(shù)數(shù)據(jù)

尺寸			DN 16 (?")
驅(qū)動(dòng)器	手動(dòng)		方向盤(pán)
	帶步進(jìn)電機(jī)的集成式或可拆卸壓力控制器
閥體材料			不銹鋼
標(biāo)準(zhǔn)法蘭			CF-R
密封技術(shù)			隔膜
泄漏率	閥體		< 1 × 10-10 mbar ls-1
	閥座		< 1 × 10-10 mbar ls-1
壓力范圍			超高真空至 2bar（絕對(duì)壓強(qiáng)）
壓差	打開(kāi)時(shí)		≤ 10 bar
死區(qū)	角閥：	閥座側(cè) 側(cè)端口	2.7 cm3 1.1 cm3
	內(nèi)聯(lián)閥：	閥座側(cè) 側(cè)端口	0.98 cm3 1.01 cm3
首維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù)			20 000
烘烤溫度	閥體		≤ 300 °C
	手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器		≤ 300 °C
	帶步進(jìn)電機(jī)的控制器		≤ 50 °C
加熱和冷卻速率			≤ 60 °C h-1
材料	閥體		AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404)
	隔膜		AISI 301 (1.4310), 鍍金
安裝位置			任何位置
閥門(mén)位置指示			視覺(jué)（比例）
流導(dǎo)（分子流）			0.05 ls-1
可調(diào)節(jié)氣流			1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1
重量	帶手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器		0.94 kg / 2.07 lbs
	帶受控步進(jìn)電機(jī)		2.5 kg / 5.5 lbs